四探针电阻率测试仪工作流程
发布时间: 2021-04-16 10:48:48 点击: 2094
四探针电阻率测试仪工作流程
本文从的定义,工作原理,组成,
四探针电阻率测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。单晶硅物理测试方法国标; A.S.T.M 标准。
双电测试法:
利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析.
测试步骤:
1.接通电源,打开电源开关.
2.液晶显示界面选择“方阻”并设置,探针形状,探针间距,选择测试电压档位,输入样品厚度.
3.将被测样品放入测试平台上,旋动探头与样品接触.
4.仪器自动显示出,方阻,电阻率及电导率数据.
5.如配置有PC软件系统时,所有上述步骤在软件界面执行即可.
优点:
自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,提高精确度,
特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
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