双电组合四探针测试仪 方阻仪
发布时间: 2024-04-29 16:29:05 点击: 4770
双电组合四探针测试仪
一. 双电组合四探针法原理:
1.通过采用四探针双位组合测量技术,将范德堡测量方法应用到直线四探针上。利用电流探针和电压探针的组合变换,进行两次电测量,其最后计算结果能自动消除由样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素所引起的,对测量结果的不利影响。
2.在测试过程中,在满足基本条件下可以不考虑探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置等因素。
3.自动修正,降低了其对测试结果的影响,从而提高了测量结果的准确度。
二. 双电组合四探针法优点:
1.常规四探针测量方法解决不了,几何边界条件和探针间距的自动修正.
2.应用于各类形状的簿膜及片状半导体材料。