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FT-300TZ两探针电阻率测试仪

发布时间: 2024-11-28 15:04:00 点击: 1001
FT-300TZ两探针电阻率测试仪

FT-300TZ两探针电阻率测试仪

功能描述Functional description

适用于半导体材料企业、科研、高等院校及实验室分析半导体材料纵向电阻率;可测量横截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率,试样长度与截面尺寸之比应不小于3:1;配置测量平台,正反向电流测量;液晶显示,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,可选购PC软件实时数据和报表管理;提供中/英文版本.

参考标准Reference standards

GB/T 1551-2021硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

SEMI MF 397-1106<<硅棒电阻率测定两探针法>>

参数资料Technical data

1.电阻率:10^-7~2×10^7Ω-cm
2.电 阻:10^-7~2×10^7Ω

3.电导率:5×10^-7~10^7s/cm

4.分辨率: 0.1μΩ 测量误差±(0.05%读数±5字)

5.测量电压量程: 2mV   20mV  200mV 2V 测量精度±(0.1%读数)

6.分辨率:  0.1uV  1uV  10uV  100uV

7.电流输出:直流电流 0~1000mA 可调.

8.显示方式:液晶显示:电阻值、电阻率、电导率值、温度、单位自动换算、横截面、高度、电流、电压等.

9.温度要求:23℃±1℃

10.电源:220±10% 50HZ/60HZ

11. 测量平台参数如下:

1).可测硅芯、检验棒尺寸:直径4~22㎜ (其他规格可定制)

2).探针头探针与试样接触位置重复,无横向移动。

3).两探针测试探针。探头间距1.59mm(其他规格可定制);探针机械游率:±0.3%。

4).探针直径0.8㎜;探针压力总6-12N,探针材料:钨针,

5).探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109

12.标配外选购项a.pc软件1套;b.标准电阻1件;c.电脑和打印机