FT-351高温四探针电阻率测试系统
发布时间： 2023-06-01 10:31:23 点击： 5242
FT-351高温四探针电阻率测试系统详情介绍
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合
2. 配置高温四探针测试探针治具
3. PC软件对数据的处理和测量控制.
4. 量程测试范围.
应用说明：
半导体材料的电导率对温度变化测量要求，测控软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.
适用行业：Applicable industry:
用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法
标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
型号及参数Models and technical parameters：
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规格型号Models |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
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1.方块电阻范围sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-6～2×105Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
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2.电阻率范围resistivity range |
10-6～2×106Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
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3.测试电流范围test current range |
0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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4.电流精度current accuracy |
±0.1%读数 |
±0.1读数 |
±2% |
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5.电阻精度resistance accuracy |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
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PC软件界面 PC software interface |
显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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7.测试方式test mode |
双电测量Double electrical measurement |
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8.四探针仪工作电源working power |
AC 220V±10%.50Hz <30W
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9.误差errors |
≤3%（标准样片结果 standard samples） |
≤15% |
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温度(选购)Highest temperature (choose and buy) |
常温 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
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气氛保护（气体客户自备） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) |
常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. |
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温度精度 Temperature precision |
冲温值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控温精度 control precision：±1°C |
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升温速度： rate of temperature increase |
常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes |
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高温材料 High temperature material |
采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder |
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PC软件 PC software |
测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! |
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电极材料 Electrode materials |
钨电极或钼电极 Tungsten electrode or molybdenum electrode |
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探针间距 The probe spacing |
直线型探针，探针间距：4mm；样品要求大于13mm直径Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter |
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标配外（选购）： Except standard configuration (optional) |
电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs |
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高温电源： High temperature power |
供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃电源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW |
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整机工作原理
方块电阻测试时电流量程选择表
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方块电阻（Ω/□） |
电流量程 |
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0---1.2 |
100mA |
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1---25 |
10 mA |
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20---250 |
1 mA |
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200---2500 |
100μA |
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2000---25000 |
10μA |
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20000---250000 |
1μA |
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>200000 |
0.1μA |
方阻测试时根据用户所选择的电压测量低压6V，中压15V，高压32V；材料测试的时候一直是6V
四探针测试方法
1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
操作流程及步骤
1.系统连接：将各个部件及控制系统、电源及USB通讯接口接通；
2.调通系统的连接是否正常，可以从PC软件及电阻率测试仪上的数据变化看出.
3.在高温箱体上分段设定所需要温度，当然也可以不分段而设定一个温度.具体高温箱体仪表操作请查看《温度仪表操作手册》.
4.待样品通过高温夹具进入高温箱体.
5.开启惰性气体输入阀门.
6.温度实时上升过程中，样品阻值实时曲线变化.
7.带温度达到设定值时，自动停止加热.
8.测试完毕，关闭高温电源，带10-20分钟后.
9.通过高温手套，移动夹具上升离开高温箱体.
10.用镊子取出样品.
PC软件界面图：
部分客户案例：
河南大学
郑州航空航天学院
南京航空航天大学
内蒙古科技大学
西南科技大学
宜宾学院
北京理工大学
优点介绍
1. 精度四探针测试仪匹配
2. 集成系统
3. 温度达到1600度.
4. PC软件实时数据处理及分析.
5. 具有保护气体功能.
服务项目
1.质保：12个月，长期维护.
2.培训：操作培训：
电话教学；U盘教学文件；远程可视沟通；现场教学；说明书教学文件
3.保养和维护：
提供因知保养和维护文件、标识、表格 、保养提醒.
4.验证文件：
3Q验证文件、计量证书
5.扩展服务：
延保服务，样品测试服务，后延服务，仪器租赁服务.
