瑞柯微FT-3110A全自动四探针测试仪详情介绍
发布时间： 2024-04-29 14:41:37 点击： 522
瑞柯微FT-3110A全自动四探针测试仪详情介绍
一.功能描述：
四点探针法，全自动化运行测量系统，可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
二.适用范围
瑞柯微FT-3110A全自动四探针测试仪详情介绍
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
瑞柯微FT-3110A全自动四探针测试仪详情介绍
三.参数资料：
规格型号 FT-3110A
1.电阻 10^-5～2×10^5Ω
2.方块电阻 10^-5～2×10^5Ω/□
3.电阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm
4.测试电流 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA
5.电流精度 ±0.1%
6.电阻精度 ≤0.3%
7.PC软件操作 PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等
8.压力范围（选购）： 探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调
9.探针 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%
铜镀金或钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制
10.可测晶片尺寸载台选购 选购:载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）其他规格可定制
11.分析模式 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
12.重复性 单点重复性：重复性≤0.5%
13.防护功能 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
14.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W
15.选购项目 电脑和打印机
